主要用途
半导体制造装置的温度管理
主要特点
温度范围广，温控精度±0.5℃
温度控制范围-10℃～+70℃，制冷器连续运转、通过控制加热器进行温度调节，实现高精度、高稳定性的恒温水循环。
齐全的信号系统和安全装置
可远程温度设定和温度监视，齐全的安全装置可实现操作信号的输出。
高温冷却功能
在使用温度范围内，由于冷冻机的连续运转，可实现高温冷却功能。
所谓高温冷却：例如冷却对象需要温度维持在+80℃，但回流的循环液温高于+80℃，此时就需要通过本机进行高温冷却使循环液温降到+80℃在流入冷却对象。
技术参数
| 型号 | CH-802BF |
| 使用温度范围 | ＋10℃～＋70℃（使用环境温度范围+5℃～+35℃）(*1) |
| 温度调节精度 | 加热器PID控制、±0.5℃(*2) |
| 冷却能力(50Hz時) | 約1.9kW(*3) |
| 冷冻机功率 | 水冷式、750W |
| 加热器功率 | 3kW |
| 温度設定?表示 | 数显式(设定温度/槽内温度切换显示) |
| 安全器／安全功能 | 漏电/过电流断路器、高低温、冷冻机异常报警、泵异常运转报警、温度传感器异常诊断、液体补充警报、防止空烧、反相继电器 |
| 其他功能 | 温度监测器、远程温度设定、安全器启动信号灯、外部温度传感器(*4) |
| 水槽容量（80%水位) | 約26L(*5) |
| 适用的泵 | P-32E、P-42、P-42 SUS仕様 |
| 所要一次冷却水量 | +25℃的冷却水：7.5L/mim +34℃的冷却水：18L/min |
| 一次冷却水连接口径 | Rc1/2 |
| 外形尺寸(水泵) | 407×590×771Hmm |
| 重量(水泵) | 約90kg |
| 电源(水泵) | 三相AC200V?50/60Hz 15A |
| 运转电流(水泵) | 14A |
| 标准附件 | 电源线、排水用橡胶软管、信号连接器 |
(*2)使用热载体、使用环境温度、热负荷循环配管距离等因素可能会影响温度性能的维持。
(*3)数据为使用清水做为循环液且液温在+10℃、装置单机时的冷却能力。根据所搭载的泵的不同，冷却能力也会有变动。另外当使用环境温度达到+30℃时冷却能力会下降。
(*4)外部温度传感器需另购，敬请注意（φ4x250mm）。
(*5)本机为非封闭式构造，因设定温度、热载体种类不同，会发生使用液体会有蒸发、减少现象。
